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    			一种低温探针测试设备
    		
    	
        
  
        
  
         一种低温探针测试设备 
        

        
 

 
 






 



        
  
        
     
	
      
        
		
        
		  
        
			
        一种低温探针测试设备
        
		  
        
				
        技术背景 
        
				
        
	
        

        
		  
        
   	  
        
      
        
		
        
      		
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        技术概要 
        
      		
        
	专利类型：发明专利
        
专利号：2023104358611
        
        

        

        
	Special ConditionsTM技术，通过设置真空腔、防辐射屏等结构，有效的营造一个集成高温、低温、真空等测试环境，为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境，通过观察孔可视化调节真空仓的真空状态及腔体温度提高检测结果的精确程度。

        

        
	
        

        
		  
        
   	  
        
      
        
		
        
      		
        技术说明 
        
      		
        
	
        

        
      	
        
      
        
	
     
      
        
      	 
        
             
             
             
             
      	 
        
      
        
      
  
        

        

 
 


        
  
  
        
    
        
      
      
        
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